轉輪除濕機在半導體行業潔凈室中的應用

轉輪除濕機在半導體行業潔凈室中的應用

　　目前，空氣除濕主要有四種方式，通風除濕、冷卻除濕、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調除濕系統中，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段。冷卻除濕在環境對濕度要求不是很高(RH≯60～65%)的條件下，效果還是比較好，性能穩定且能耗也比較低，目前應用比較廣泛。但在生產環境對濕度要求較高(RH=45±5%)的地方，采用冷卻除濕就明顯是不經濟的。采用轉輪除濕機，將不受空氣露點影響，且除濕量大，特別適用于低濕條件下，但如果全部除濕僅采用固態吸附原理的轉輪除濕機進行，由于其再生耗能量也比較大，此種方案也不是最經濟的。由于轉輪除濕和冷卻除濕各有所長，將其優化組合，各取所長，互補所短，會更好的發揮其效能。

　　濕度在半導體行業中的要求 半導體的生產工廠要在全年四季的氣候條件下，生產車間內部要求維持穩定的環境，特別是對于生產環境的溫度、濕度、空氣潔凈度、氣流組織，壓力平衡等多個空調參數都提出了嚴格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環境系統的要求，由于電子產品對靜電的敏感性和高濕度環境對其品質的影響，其對濕度的精度提出了嚴格要求，對于空調系統的配置，則要求系統同時具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能。 一般的，半導體生產行業的溫濕度條件為：T=22±2°C，RH=45±5%;而對于這個溫濕度要求，傳統上經常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進行處理，并取得了一定成果。但這種方式卻存在著一個致命問題，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費，特別是由于半導體行業的大新風，大排風系統、生產環境為大空間潔凈環境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區的特殊情況，使得這個問題十分突出。 因此，在最新的許多半導體廠房的空調系統開始使用新風通過新風機組(冷卻除濕)和轉輪除濕機聯合處理濕度、溫度而后通過后空調機組處理的組合方式， 達到室內送風溫、濕度要求，并取得了顯著收益。

　　轉輪與冷卻聯合式除濕空調系統的特性

　　轉輪與冷卻聯合除濕空調系統，就是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環系統與轉輪除濕相結合，利用制冷系統的吸熱除濕進行前期除濕，而利用轉輪除濕機進行深度除濕。冷卻除濕在一定的范圍內除濕效果好，且性能穩定，但當濕度要求較低時，冷卻除濕的能力明顯下降，此時選用轉輪與冷卻聯合除濕系統，可以達到很好的效果。冷卻除濕作為前期除濕，突出了冷卻除濕機高露點工況下能耗低的特點，利用轉輪除濕進行深度除濕，突出了轉輪除濕機低溫低濕條件下，不受露點限制且除濕量大的優點。此系統常用的處理流程如下： 1：冷卻除濕;2：轉輪除濕;3：等濕冷卻;5：再生加熱;6：絕熱再生

　　在低濕環境條件下，采用轉輪與冷卻聯合式除濕空調系統具有僅冷卻除濕機不可比擬的優越性。轉輪除濕機的核心部件是一個蜂窩狀轉輪，轉輪由特殊陶瓷纖維載體和活性硅膠復合而成;轉輪兩側由特制的密封裝置分成兩個區域：處理區域及再生區域;當需要除濕的潮濕空氣通過轉輪的處理區域時，濕空氣的水蒸汽被轉輪的活性硅膠所吸附，干燥空氣被處理風機送至需要處理的空間;而不斷緩慢轉動的轉輪載著趨于飽和的水蒸汽進入再生區域;再生區內反向吹入的高溫空氣使得轉輪中吸附的水份被脫附，被風機排出室外，從而使轉輪恢復了吸濕的能力而完成再生過程，轉輪不斷地轉動，上述的除濕及再生周而復始地進行，從而保證除濕機持續穩定的除濕狀態。

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